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説明

1. 高密度
2. 高い耐摩耗性
3. 高熱伝導率と低熱膨張係数
4.高い振動吸収能力と高いヤング率
5. 高い酸化抵抗性と耐食性

原子番号 74
CAS番号 7440-33-7
原子質量 183.84 [g/mol]
融点 3420℃
沸点 5555 ℃
20℃における密度 19.25 [g/cm³] 3]
結晶構造 体心立方
20℃における線膨張係数 4.4 × 10 -6 [m/(mK)]
20℃における熱伝導率 164 [W/(mK)]
20℃における比熱 0.13 [J/(gK)]
20℃における電気伝導率 18.2 × 10 6 [ス/エム]
20℃における比電気抵抗 0.055 [Ωmm] 2 )/m]
モデル番号 W1
形状 カスタマイズされた
化学組成 99.95% W

パラメーター

製造範囲(タングステン平面スパッタリングターゲット)

長方形

長さ(mm)

幅(mm)

厚さ(mm)

カスタムメイド

10 – 3000

10 – 800

1.0 – 50.8

円形

直径(mm)

 

厚さ(mm)

10~1000

 

1.0 – 100

品質&検査

アプリケーション

半導体

化学気相成長(CVD)

物理蒸着(PVD)ディスプレイ

キーワード

エレクトロクロミックガラス用タングステンターゲット

1. 高密度 2. 高耐摩耗性 3. 高熱伝導率かつ低熱膨張係数 4. 高振動減衰能力および高ヤング係数 5. 高酸化抵抗性および高耐食性


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